对扩散泵对于油品质的要求比较严格，因为扩散泵油的性质对扩散泵的抽气性能影响特别大，因而对扩散泵油的基本要求是：首先是要求泵油的分子量要大，这样是为了降低泵的极限压力;其次要求泵油在常温下得饱和蒸汽压要低，则为了使泵能在较高的出口压力下工作;再则就是要求泵油在沸腾温度下得饱和蒸汽压应尽可能大，泵油的热稳定性(高温下不易分解)和抗氧化性能(与大气接触时不会因氧化改变泵油的性能)要好;凝固点和低温黏度要低;还有其他的要求无毒、耐腐蚀、成本低等。
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　　泵油对极限压力的影响有哪些?泵油的种类和成分对泵的极限压力影响很大，在结构相同的扩散泵中，如果使用3号扩散泵油，其极限压力只能达到10-5帕;而改用275号硅油，其极限压力能达到10-7帕，极限压力可降低两个数量级。真空系统中被抽气体的分压力也随泵油的不同而变化，这就是泵油成分所带来的影响。例如，油扩散泵抽气系统中不加特殊措施很难获得较清洁的真空。
　　泵油的饱和蒸气压是为了获取高真空，希望泵油在常温下有较低的饱和蒸气压。同时又要求泵在较高的出口压力下工作，希望泵油在锅炉温度下有较高的饱和蒸气压。因此，最适合扩散泵工作的泵油其饱和蒸气压随温度变化的关系曲线的斜度要大为了避免调试真空机组中发生事故，应注意下述问题:
　　(1)正确使用真空机组，熟练地掌握真空机组操作规程;
　　(2)正确使用真空计，掌握其操作规程，若用热偶真空计，注意热偶不要烧坏;若用麦氏真空计，注意水银液面缓缓上升;
　　(3)运行时，禁止修理、清洗真空机组，以及给运动部件上螺钉;
　　(4)真空泵启动前，需检查供水、供油、润滑是否正常;
　　(5)运动部件要有防护措施，以防其飞出来;
　　(6)车间应配有灭火器、砂箱等灭火器具。